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  • IS-PM 貴金屬膜層專用設(shè)備-IS13-2

      產(chǎn)品特點(diǎn):
    • 主要特點(diǎn)和技術(shù)優(yōu)勢(shì):  
      ? 模塊化通用接口,直接兼容不同形式陰極靶材,允許直流脈沖、中頻、射頻工作模式;兼容性強(qiáng)
      ? 特殊設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)及工藝氣路,有效提升靶材利用率以及長(zhǎng)期工藝穩(wěn)定性
      ? 雙腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),既保障了工藝過(guò)程的穩(wěn)定性與一致性,又極大縮短了鍍膜前處理時(shí)間,提高生產(chǎn)效率;
      ? 自主設(shè)計(jì)的全自動(dòng)智能化工藝操作系統(tǒng),提供全面、便捷的工藝配方編輯及調(diào)用能力,配備實(shí)時(shí)工藝參數(shù)監(jiān)控系統(tǒng),允許在線遠(yuǎn)程控制。
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  • 規(guī)格參數(shù):

    IS 系列貴金屬鍍膜設(shè)備參數(shù)

    號(hào)

    IS13-2

     

    真空室尺寸

    載腔: 494*475*510 (mm)

    藝腔: 516*475*530 (mm)

    磁控濺射源

    3 個(gè)

    等離子清洗源

    1 個(gè)

    限真空

    <5.0*10-5 Pa

    高溫度

    <500℃(工件加溫)

    層區(qū)域

    Φ45*60 (工件最大尺寸)

     

    控制系統(tǒng)

    ·全自動(dòng)工藝控制軟件

    ·參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

    真空室結(jié)構(gòu)

    鍍膜腔+裝載腔

    設(shè)備尺寸

    2700*2280*2770 (mm)

    20KW

    設(shè)備可依據(jù)客戶需求進(jìn)行定制

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